Feadánra snáithín carbóin treisithe
Feadánra snáithín carbóin athneartaithe ilchisealach le neart solúbthachta feabhsaithe. Oiriúnach do thionscail mhuirí, cosanta agus iompair. Roghanna retadant dóiteáin ar fáil.
Cur síos
Frámaí méadreolaíochta snáithín carbóin ultra-bheachtais
Réiteach cobhsaíochta fo-micronDeartha le haghaidh meaisíní tomhais comhordaithe (CMManna) agus céimeanna liteagrafaíochta, baineann ár bhfeadáin charbóin bunaithe ar pháirc 0. Tá an rún i:
Briseadh Eolaíochta Ábhar
Ailtireacht snáithín.
Fí hibrideach: 1k plain weave + 12 k ud atreisiú aiseach
Breiseán dampála: Cáithníní viscoelastic ciseal srianta 2%
Méadrachtaí feidhmíochta criticiúla
| Paraiméadar | Ár bhfeadán | Eibhear (tipiciúil) |
|---|---|---|
| Céim CTE (20-25) | {0. 01 ppm/k | 6.5 ppm/k |
| Minicíocht nádúrtha | 420 Hz | 180 Hz |
| Creep (1 bhliain @ 50n) | 0.3µm | 12µm |
Cás -staidéar: Ailíniú leathsheoltóraSuiteáilte i gcéimeanna masc EUV ag 2nm fab TSMC:
Earráidí forleagan laghdaithe ó {{{0}}. 22nm go 0.07nm
Cumasaithe 98.7% Toradh Wafer vs 93.4% le treoracha ceirmeacha
Feabhas 22% ar am rothaíochta trí chúiteamh teirmeach laghdaithe
Comhoiriúnacht an tseomra glana
Outgassing: 0.
Astaíocht na gcáithníní:<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)
Cosaint ESD: 10⁶ -10 ⁹ Ω Friotaíocht Dromchla
Prótacal cothabhála
Athchóiriú bliantúil le próipiléin eitiléine fluairínithe (FEP)
Calabrú Interferometer Laser Gach 5, 000 uair an chloig
Barántas cobhsaíochta tríthoiseach 10-
Clibeanna Te: feadánra snáithín carbóin treisithe, soláthróirí, monaróirí, monarcha, saincheaptha, mórdhíola, praghas, luachan, sampla saor in aisce
Glaoigh Linn
B’fhéidir gur mhaith leat freisin
